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VP-2000HDS
VP-1000H와 VP-1000C의 
두대의 기능을 한대로 수행 
고접착 고재현성 양질의 제품 생산 
증착기 Chamber와 Diffusion-pump 동시 연결 타입

Performance

압축기 용량
7.5kW (10HP)
열부하 제거(watts)
2,000
펌핑스피드 (l/sec)
100000
최대 작동 진공도(torr)
1.0 * 10-9
디프로스트 타임(min)
4분이내
디프로스트 온도(°C)
60~ 90
쿨 온도(°C
120 ~ -140
Line Specifications

표면적(m3)
1
파이프외경(mm)
12.7
길이(mm)
21
표준설치배관(m)
2.5
Utilities

물배관(mm)
19
칠러용량(RT)
4~5
적정실내온도(°C)
4~38
장비 수명(year)
8~10
전기 사양
380V 50/60Hz
물온도(°C) / 최소물유량(l)
18 / 20
23 / 30
Dimensions

가로x세로x높이(mm)
810 * 660 *1900
무게(kg)
450