VPLUS cryocooler pump는 증착 과정의 Coating quality를 증가시키며, 
증착기 Chamber의 수분을 최대한 제거하여 
고진공 도달 시간을 단축합니다.  

• 최대 4000watts의 열부하 제거능력 (챔버 내 고온코팅 기능 50°C~250°C 이상) 

• 최대 200,000l/sec의 속도 

• 수증기를 초저온으로 chamber 내부 cold trap에 응축 

• 진공 챔버 내부 수증기 99% 이상 제거 

• 유확산펌프 오일 역류 방지 

• 진공 펌핑 시간의 25~95% 감소를 통한 생산량 20%~ 100% 증가 

• 코팅 시 접착력 및 재현성 증대로 균일한 양질의 제품 양산 

• 혁신적인 압축기 전기 용량 저소음+저전력 

• 클린룸 설계시 비용점갈 

• 적은 칠러 용량으로 비용절감